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轮廓形状测定机 EF550-M50/-M58/-M58D
发布者:管理员 发布时间:2015-12-13 03:52:51 浏览301次

測定精度

Z:±(2.5+0.5×IHI)μm以下 H:変位(mm)
X:±(2.5+0.02L)μm以下 L:测量长度(mm)

分解能

Z:0.25μm X分辨率:0.1μm

取样数/最小间隔

Max 64,000点/Min 0.5μm

測定范围

Z:30mm X:50mm

表示倍率

纵(Z)、 横(X):1~2,000倍

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