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台阶仪ET200
发布者:管理员 发布时间:2015-12-13 03:53:00 浏览449次

最大尺寸

φ160×厚48mm

再现性

1σ 1nm以内

測定范围

Z:600μm X:100mm

分解能

Z:0.1nm X:0.1μm

测定力

10μN~500μN

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