产品概述：
品牌：致东Radiation
● 紧凑型膜厚量测设备
● 安装移动迅速便捷
● 适用于所有非金属膜质
● 多样化的应用选择
● 工业标准数据端口
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项目 |
内容 |
规格概述 |
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1 |
波长范围 |
420~1000nm |
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2 |
Resolution |
1 nm |
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3 |
膜厚测定范围 |
250 A- 20 um |
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4 |
膜厚测定精度 |
T=±5A, N=±0.02 based on SiO2 1100A standard wafer |
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5 |
膜厚测定重复性 |
SR Thickness repeatability: ≤ 1Å (1ơ) (at 1100Å, SiO2/Si) |
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6 |
测定光源 |
卤素灯泡(含 Constant Current Power Supply) |
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7 |
透明基板里面反射补正机能 |
包括透明基板背后反射的修正(软件) |
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8 |
测定SPOT径(Spot Size ) |
50 um Diameter ( 20 X Objective ) , can be smaller with less signal / noise ratio |
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9 |
Tact time |
2S（测试1S+分析1S） |
