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首页 - 公司产品 - 光谱仪 | 反射仪 | 椭偏仪 - 致东_Radiation 全光谱反射仪 SR-RD-STD系列
SR-RD-STD系列 产品图片

致东_Radiation 全光谱反射仪

型号:SR-RD-STD系列

是否进口:进口

产品概述:

品牌:致东Radiation


●  紧凑型膜厚量测设备

●  安装移动迅速便捷

●  适用于所有非金属膜质

●  多样化的应用选择

●  工业标准数据端口


相关介绍

项目

内容

规格概述

1

波长范围

420~1000nm

2

Resolution

1 nm

3

膜厚测定范围

250 A- 20 um

4

膜厚测定精度

T=±5A, N=±0.02 based on SiO2 1100A standard wafer

5

膜厚测定重复性

SR Thickness repeatability: ≤ 1Å (1ơ) (at 1100Å, SiO2/Si)

6

测定光源

卤素灯泡( Constant Current Power Supply)

7

透明基板里面反射补正机能

包括透明基板背后反射的修正(软件)

8

测定SPOT(Spot Size )

50 um Diameter ( 20 X Objective ) , can be smaller with less signal / noise ratio

9

Tact time

2S(测试1S+分析1S

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