产品概述:
品牌:致东 Radiation
● 桌上型膜厚量测设备
● 安装移动迅速便捷
● 适用于所有非金属膜质
● 多样化的应用选择
● 工业标准数据端口
规格 |
技术指标 |
衬底类型 |
透明或半透明衬底 |
光源 |
氙灯 |
光源寿命 |
>8760H |
光谱范围 |
300-1000nm |
入射角 |
70度(40度-90度 每5度可调) |
光斑直径 |
100x120μm(Min80x100um) |
测量时间(不对焦) |
<2S(单层模型),<约6s(多层模型) |
膜厚测量范围(单层膜) |
1nm-15μm |
对焦 |
自动讯号对焦 |
膜厚测量精度 |
<0.5nm(基于标片) |
折射率测量精度 |
<0.005(基于标片) |
厚度重复性精度: |
<0.5A(1 sigma 标准差,10times)(基于标准片) |
折射率重复性精度: |
<0.0005(1 sigma标准差,10times)(基于标准片) |
可测试膜层数量 |
≥2层 |
标片数量 |
2片 |