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首页 - 公司产品 - 光谱仪 | 反射仪 | 椭偏仪 - 致东_Radiation 全光谱椭偏仪 SE-RD-STD系列
SE-RD-STD系列 产品图片

致东_Radiation 全光谱椭偏仪

型号:SE-RD-STD系列

是否进口:进口

产品概述:

品牌:致东 Radiation


● 桌上型膜厚量测设备

● 安装移动迅速便捷

● 适用于所有非金属膜质

● 多样化的应用选择

● 工业标准数据端口


相关介绍

规格

技术指标

衬底类型

透明或半透明衬底

光源

氙灯

光源寿命

>8760H

光谱范围

300-1000nm

入射角

70度(40-90度 每5度可调)

光斑直径

100x120μm(Min80x100um)

测量时间(不对焦)

<2S(单层模型),<6s(多层模型)

膜厚测量范围(单层膜)

1nm-15μm

对焦

自动讯号对焦

膜厚测量精度

<0.5nm(基于标片)

折射率测量精度

<0.005(基于标片)

厚度重复性精度:

<0.5A1 sigma 标准差,10times)(基于标准片)

折射率重复性精度:

<0.00051 sigma标准差,10times)(基于标准片)

可测试膜层数量

2

标片数量

2

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