产品概述:
| Z轴最大测量范围 | SA-41 5mm/SA-32 8mm | 
| X轴最大测量范围 | 100mm | 
| Z轴最小分辨率 | 7.5nm/12nm | 
| 直线度精度 | 0.4µm/100mm | 
| 检出器 | PU-FK1A | 
| 触针 | SA-41 R2µm 60°/SA-32 R25µm 25° | 
| 设备尺寸 | W1500×D800mm |