产品概述:
Z轴最大测量范围 |
SA-41 5mm/SA-32 8mm |
X轴最大测量范围 |
100mm |
Z轴最小分辨率 |
7.5nm/12nm |
直线度精度 |
0.4µm/100mm |
检出器 |
PU-FK1A |
触针 |
SA-41 R2µm 60°/SA-32 R25µm 25° |
设备尺寸 |
W1500×D800mm |