产品概述：
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模式 |
精密 |
广范围 |
AF |
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测量范围 |
12µm |
30µm |
30µm |
100µm |
500µm |
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分辨率 |
0.2nm |
0.5nm |
0.5nm |
0.2nm |
7.6nm |
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重复精度 |
10nm |
20nm |
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光斑直径 |
约1～10µm |
约1～25µm |
约1µm |
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作动距离 |
约1.5mm |
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激光波长 |
635nm |
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测量面的反射率 |
4%或以上 |
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