导读：台阶仪广泛应用于液晶面板及半导体等行业，能够帮助企业进行有效的镀层厚度管控。本文主要介绍目前液晶面板行业用途比较广泛的ITO Film ITO厚度检测设备kosaka台阶仪ET4000LPX。

玻璃基板易碎、重量大的缺点、并且大尺寸的玻璃基板制作不易；设备成本昂贵故往塑料基板趋势发展。塑料基板具质轻薄、耐冲击及可挠曲等特性。目前中国的液晶面板产能占据世界产能的半壁江山，ITO FILM需求市场巨大。

日本进口的KOSAKA 台阶仪ET4000LPX就是用于ITO FILM ITO厚度的质量管控，介绍如下：

KOSAKA 台阶仪ET4000系列

（https://www.kosaka-cn.com/products/21.html）

● 高精度．安定性．机能性卓越适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。

● 是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择

● 可提供多孔质stage，及分段式真空吸附，一键式最大程度减少film 基材吸附时产生的变形

KOSAKA 台阶仪ET4000LPX

1－1 检出器PU-EA2W

・ 量测力 min. 0.5 µN ~ Max. 500 µN

・ 量测方式     Differential transforme（直动式）。

・ 量测范围   370 µm

・ 测针大小       2um或者0.5um等可选

1－2 量测单元

・ 量测长度        100mm

・ 量测速度      0.005 ~ 20.0 mm/s

・ X量测精度   0.01um

・ 定位精度   ±5um

・ 手动PX轴        400mm

・ 手动PX轴速度       Max.15mm/S

1－3 分析功能

・ 保留、读取，及打印量测数据及图形的功能

・ 执行编辑自动量测recipe功能

・ 对段差及粗糙度的分析功能

・ 应力分析功能

以下图片是我们的客户用KOSAKA 台阶仪来测VLSI标样的实拍图，供参考。欢迎有意者来电共同探讨！