导读：本文主要介绍非接触式光学形貌测量中遇到的常见难题，包括测量速度和精度的取舍、过高的倾斜角度、极高或极低的表面反射率等等情况。

光学测量具有不接触样品、不留下测量痕迹、速度快等等各种优点，但世界上没有任何一种技术是完美的，今天为大家普及一下光学测量可能会遇到的常见难题，以供在调研和购买阶段参考。

首先，测量领域要始终牢记的一点是“速度和精度不可兼得”。一般来说，测量速度越快，测量精度就越值得质疑，数据的可信性也越值得推敲。想想看，你的眼睛也可以看做一台相当精密的量测仪器，但是在你迅速跑动的过程中，你看东西的清晰度如何呢？

其次，光学测量在针对倾斜角度很高的区域时，数据经常会失真。例如你要测量硅片上的电极，这些电极好像是“凸”字的上半边，基板是下半边。传感器一般是垂直于样品表面的，光到达凸字最上边的“一”，可以很好地反射回去；但到了两边的“丨”，大部分光就会被反射到不知道什么地方去了，只有少量的光能返回去被转化成数字信号。下图中圈出的角度越接近90°，测量就越困难，数据也越容易失真。

再次，需要知道的是，测量是一回事，解析又是一回事。市场上很多光学测量仪器精度可能不够，无法测量你的样品，但是测量软件上展示出来的结果却很平滑很漂亮，为什么呢？这无非是在输出测量结果的数据或者图形之前，软件已经进行了数学计算和算法处理，给你看的结果，是加了“滤镜”处理过的而已。

最后，光学测量靠的是光的各种原理，例如折射、反射、穿透、干涉等等；同时，所使用的光源也多种多样：白光、激光、X-Ray、LED，不一而足。不同的光源具有不同的波长，面对不同材质的样品时，其测量效果也会不一样。半导体、光学元器件等等行业的产品，其材质对光具有不同的吸收曲线（Absorption Curve），或者高低不同的反射率、折射率，这些因素都会影响最终的测量结果。这也是为什么很多时候光看彩页上的参数是不够的，实际测量样品的结果才最有说服力。

使用者的测量需求千差万别，综合考量精度、速度、预算等各个方面的状况，才能找到性价比最高的仪器。但市场上的产品种类繁多，令人眼花缭乱，找到对的人帮您推荐合适的产品，能节省您大量的时间和精力。

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关键词：台阶仪 | 光学形貌仪 | 三维表面形貌 | 表面粗糙度仪