台阶仪的直线度是什么？有什么作用？如果知道花费几十万元购买的台阶仪，测出来的结果有可能不准，自己所看到的图形和数据，也都是经过测量软件算法处理之后想让你看到的样子，用户想必不会满意。尤其在学术科研领域，极小的数据差别和不理想的重现性变化，都有可能会影响到研究结果的可信度。如果您是科研领域的台阶仪用户，相信这篇文章多少可以为您提供一些可供参考的资料。

台阶仪作为接触式的精密测量设备，其测量方式往往是探针接触样品表面后，沿X轴方向测量一定的长度，然后评估这段长度上出现的台阶高度。这段距离可长可短，一般来说，对精度和分辨率的要求越高，距离应尽可能设置的越短。此外，也要考虑样品工艺和制程是否优良。

如果没有直线度的保证，测量长度越长，测量结果失真就越严重。就好像在黑板上画一条线，画10厘米，大家都能画得很直，和黑板的上下底边保持平行，但如果是50厘米，100厘米，500厘米呢？对设备来说，道理也是一样的。测量长度越长，平台移动轴保持在一条直线上的难度就越大，极小的偏移也会导致测量位置不理想。更何况相对于2D的黑板来说，实际测量中的偏移是3D的，以理想的移动轴直线为轴心线而构成的整个圆柱，都是可能发生偏移的方向。下图中，是没有直线度保证设备的实际测量结果举例。

株式会社小坂研究所专注于精密测量设备的制造，对移动轴直线度的保证有着自己的核心技术。Kosaka ET系列台阶仪,能够达到100mm的测量长度上，其直线度的偏差量小于0.2um——也就是说，如果偏移量是以移动方向为轴心线形成的圆柱，小班研究所可以将这个圆柱做到高度为100,000um,但半径小于0.2um的程度，从而保证还原样品表面的真实形貌和台阶高度。

总而言之，直线度是鲜为人知但却对测量结果有重要意义的一项技术参数。如果您的研究成果或研发产品对这一指标有较高标准，欢迎您致电质朋仪器，我们将为您提供专业的仪器选购咨询、免费的测样服务和优质的售后服务。质量向上，朋贤友达，期待您的垂询！

日本进口KOSAKA 台阶仪，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分别对应：学术和科研单位的膜厚测量（如工程系、材料系和机电系材料测量需求），面板、光伏、半导体等产业工厂自动化测量和超大型工厂全自动化测量的需求。

关键词：台阶仪 | 膜厚仪 | 薄膜测厚仪 | 段差分析仪