产品概述:
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SEF800-G |
SEF800-N |
表面粗糙度 |
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测量范围 |
Z:600µm X:100mm |
Z:600µm X:100mm |
直线度 |
0.2µm/100mm |
0.2µm/100mm |
Z轴最小分辨率 |
0.04nm |
0.04nm |
轮廓形状 |
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测量范围 |
Z:50mm X:100mm |
Z:60mm X:100mm |
直线度 |
1.0µm/100mm |
1.0µm/100mm |
Z轴最小分辨率 |
0.1µm |
0.025µm |