产品概述:
• 变位检出内建Digital Sensor。
• 一次测量即可得到高精度轮廓形状和表面粗度的测定值。
• 解析功能具备Plateau表面解析和Morphological接触点Filter。
DSF-L800产品参数:
Z轴最大测量范围 |
SA-41 12mm/SA-32 24mm |
X轴最大测量范围 |
100mm |
Z轴最小分辨率 |
0.75nm/1.5nm |
直线度精度 |
0.4µm/100mm |
检出器 |
PU-LA4 |
触针 |
SA-41 R2µm 60°/SA-32 R25µm 25° |
设备尺寸 |
W1500×D800mm |