产品概述:
• 适用于圆筒形状工件圆弧表面的非接触测量。
• 激光束采用斜面照射,更利于透明工件的测量。
• 激光等级:Class 1(JIS C 6802:2011)
Trispy PU-OS600 产品参数:
测量范围 |
30~500µm |
|
分辨率 |
0.5nm |
|
重复精度 |
20nm |
|
光斑直径 |
约3µm |
|
倾斜角 |
X轴 |
±50° |
Y轴 |
±25° |
|
作动距离 |
1.5mm |
|
激光波长 |
635nm |