产品概述：
● 设备空间占用相比以往品减少30%。
● 最高等级回转精度。
● Y轴移动量±70mm。
● R移动量275mm（较先前机种提高62%）。
● 移动速度提高Z轴 50mm/sec，X轴 30mm/sec。
● 总高度2500 mm以下，可适用空间高度较低的测量室。
● 主要扩展机能∶非接触检出器Trispy、圆周粗度测定、长物检出器。
| 机构·方式 | 多孔质静压空气轴承·工作台回转式 |
|---|---|
| 回转精度 | 0.05um (JISB 7451) |
| 最大测定径 | 内外径都是Φ550mm(※EC5100H的机种） |
| 积载质量 | 200kg (※EC5100H的机种） |
| 上下移动量 | 1000mm(使用b触针臂时）（※EC5100H的机种） |
| 工作台移动范围 | X:800mm(左500mm, 右300mm) Y:士60mm |
