产品概述：
NH-3SPs是NH系列的高精度机型。
NH-3SPs适合测量的样品案例：非球面样品、菲涅尔透镜、光栅、不平坦的金属薄膜…
移动范围（X，Y，Z）
X:150 x Y:150 x Z:120mm
测量范围 AF
10mm
scale分辨率 （X，Y）
Z粗动
AF
0.01 x 0.01
0.1um
0.001um
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