产品概述：
● 承载量> 50 kg。
● 专用探针卡盘；RFID 卡识别。
● 适用于SEMI以及SECS/GEM协议。
● MEMS式, 垂直式, 悬臂式探针卡。
● 评估晶圆磨损与探针尖/头的相关性。
● 探测探针卡表面异物与表面堵塞情况。
● 持续监测耗损状况, 精确预测使用寿命。
● 迅速评估, 精准定位, 大幅降低维修时间。
| 分辨率 | X & Y轴: 0.5-5.1um; |
|---|---|
| Z轴：0.016 um; | |
| 取样率 | 8000 Hz |
| 工作距离 | 8 mm |
| 扫描宽度 | 630 um |
| 高度范围 | 300 um – 400 um |
| 机台尺寸 | 300mm x 300mm（可定制） |
