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首页 - 公司产品 - 台阶仪 | 膜厚仪 - KOSAKA 台阶仪 | 微细形状测定机 ET200A
ET200A 产品图片

KOSAKA 台阶仪 | 微细形状测定机

型号:ET200A

产地:日本 品牌:小坂KOSAKA 是否进口:进口

产品概述:

● ET200A台阶仪适用于二次元表面纳米等级段差台阶测定、粗糙度测定。


● ET200A台阶仪拥有高精度.高分解能,搭配一体花岗岩结构,安定的测量过程及微小的测定力可对应软质样品表面。


● 该型号台阶仪采用直动式检出器,重现性高。

相关介绍

台阶仪ET200A产品参数


最大试片尺寸 Φ200mm×高度50mm
重现性 1σ ≤ 1nm
测定范围 Z:600um X:100mm
分解能 Z:0.1nm X:0.1um
测定力 10UN~500UN (1mg-50mg)
载物台 Φ160mm, 手动360度旋转

ET200A基于Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半 导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、 薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高 精度表面形貌分析应用。ET200A 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200A 配备了各种型号探针,提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD 原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。


 

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