产品概述：
• 测量膜厚、段差，建立配方后可自动测量。
• 直动式检出器，更高精度，高再现性。
• X、Y方向两轴测量，工件放置不受限。
• 可搭载机械手臂，实现在线全自动测量。
NT1520台阶仪
产品参数:
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最大样品尺寸 |
φ220×厚度10mm；可对应4、6、8寸晶圆 |
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再现性 |
1σ 0.3nm以内 |
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测量范围 |
Z:1300µm X:205mm Y:280mm |
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分辨率 |
Z:0.1nm X:0.01µm Y:0.1µm |
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测定力 |
30µN～600µN，选配：0.5µN～ |
